Belgia: PVD for MRAM
Data licitatiei 31.03.2025
Expirat
6
6
| Valoare estimata : 0
|
Tip anunt:
UE
|
ID: 9319053
|
Data publicarii :
03.03.2025
|
Tara/Judet:
BE |
|
Descriere scurta:
Belgia: PVD for MRAM
Coduri CPV:
38000000-5 - Echipamente de laborator, optice şi de precizie (cu excepţia ochelarilor)
|
Textul licitației
ren 3. Ontgassing/annealing mogelijkheden 4. Een cryogene trap (<100K) optie in, of ex situ van de PVD-modules. Bovendien moet het platform compatibel zijn met Front Opening Universal Pods met een capaciteit van 25 sleuven, inclusief een Equipment Front End Module en load-lock systeem voor waferinvoer. Ten slotte moet de depositie computerbestuurd en geautomatiseerd zijn volgens gedefinieerde recepten. Als optie moet het platform compatibel zijn met automatische receptupload vanuit fab management software via een gestandaardiseerd protocol, bijvoorbeeld SECS/GEM.Identificatorul procedurii: e2e33bc5-8cbf-4c6d-96b0-bbdfcc3744ceIdentificator intern: JPA2025ID 57Tip de procedură: Negociată cu publicarea prealabilă a unei proceduri concurențiale de ofertare / competitivă cu negociere2.1.1. ScopNatura contractului: Bun