Textul licitației

chnologie (CMi). Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>500 utilisateurs actifs par an). Ce lot de trois stations individuelles sera dédié aux besoins de recherche de pointe en micro et nano fabrication, et plus particulièrement comme étapes clés de nettoyage afin d’assurer et/ou de retrouver des propriétés de surface compatibles avec le domaine. Une grande importance sera accordée non seulement à la qualité de chaque station chimique, mais également à leur facilité d’utilisation et en toute sécurité, à leur sécurité liée aux actions de maintenance nécessaires, et à leur flexible mais néanmoins robuste capacité de contrôle des traitements envisagés dans un environnement type R&D. La proximité, la réactivité du