Textul licitației

. Das System wird die Materialsynthese auf Oxid-Substraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm² ermöglichen. Die PLD- und Sputterkammern müssen Basisdrücke < 10⁻⁷ mbar aufweisen und über eine Schleusenkammer für einen schnellen Probenaustausch zugänglich sein. Die PLD- und Sputterkammern müssen für den Probentransfer im Vakuum miteinander verbunden sein. Die PLD muss über in-situ RHEED zur Wachstumsüberwachung verfügen und Substrat-Temperaturen von mindestens 950°C ermöglichen. Die Sputteranlage ermöglicht das DC-Magnetron-Sputtern bei einer Substrattemperatur von bis zu 700°C. Das System muss mit der Verwendung von flag-style-type- Probenträgern und dem Transfer zu einem extern bereitgestellten Vakuumkoffer für den Transport zu anderen Ex-situ-Charakterisierungsgeräten kompatibel sein. The Physics Institute plans the procurement of a UHV cluster for pulsed