Franta - Grenoble: Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
Data licitatiei 10.11.2025
Expirat
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| Valoare estimata : 1 EUR
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Tip anunt:
UE
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ID: 10126838
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Data publicarii :
10.10.2025
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Tara/Judet:
FR |
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Descriere scurta:
Franta - Grenoble: Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
Coduri CPV:
31712100-1 - Maşini şi aparate microelectronice
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Textul licitației
raitements chimiques pour applications BEOL et devra être totalement automatisé. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : Option 1 : Capacité à effectuer une purge N2 du FOUP - Options avec chiffrage facultatif : Option 2 : Ajout adapté de H2O2 pendant le procédé de retrait du HardMask Option 3 : Assistance mécanique aux procédés chimiques Option 4 : Formation à la Maintenance 1er niveau Option 5 : Formation à la Maintenance avancée Option 6 : Fourniture d’un échangeur de chaleur et d’un refroidisseur Option 7 : Fourniture d’un transformateur de puissance Option 8 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)Identificatorul procedurii: c168855e-d4d5-462e-a846-334d73ae6883Identificator intern: PN-B25-03483-STTip de procedură