Textul licitației

Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken.Identificatorul procedurii: 4f871b97-0561-422c-8feb-e849087d2679Identificator intern: 2024/3410Tip de procedură: Negociată cu publicarea prealabilă a unei proceduri concurențiale d