Textul licitației

P. Cet équipement sera utilisé comme système de mesure pour contrôler le processus CPM. Il doit être intégré et connecté au nouvel outil CEA-LETI de 200 mm. L'outil de métrologie doit pouvoir d'effectuer des mesures automatiques sur des substrats en silicium ou en verre. Il doit manipuler et mesurer des plaquettes de silicium de 200 mm, avec différents matériaux déposés, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le poly-silicium sur oxyde de silicium, et mesurer des plaquettes avec ou sans motifs, des plaquettes avec ou sans patrons. Ce marché comporte : Un équipement de base Une option à chiffrage obligatoire relative a l’extension de garantie d’une année supplémentaire au-delà de la garantie légale d’un an. Une (des) option(s) facultatives : Option 1 : Formation maintenance niveau 1 Option 2 : Formation maintenance avancéeIdentificatorul p