Franta - Villeneuve d'Ascq Cedex: 202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Data licitatiei 18.03.2025
Expirat
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| Valoare estimata : 750,000 EUR
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Tip anunt:
UE
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ID: 9255692
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Data publicarii :
14.02.2025
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Tara/Judet:
FR |
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Descriere scurta:
Franta - Villeneuve d'Ascq Cedex: 202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Coduri CPV:
22520000-1 - Echipamente de gravură uscată
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Textul licitației
e deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).Identificatorul procedurii: 5c187b65-85a4-4984-a680-53a1c594f757Identificator intern: 202501100951Tip de procedură: DeschisăProcedura este accelerată: nu2.1.1. ScopNatura contractului: BunuriClasificarea principală (cpv): 22520000 Echipamente de gravură uscată2.1.2. Locul de executareAdresă poștală: IEMN&