Germania - Zwickau: Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)
Data licitatiei 10.07.2026
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Tip anunt:
UE
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ID: 11000102
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Data publicarii :
05.06.2026
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Tara/Judet:
GE |
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Descriere scurta:
Germania - Zwickau: Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)
Coduri CPV:
31712330-2 - Semiconductoare
38000000-5 - Echipamente de laborator, optice şi de precizie (cu excepţia ochelarilor)
42990000-2 - Diverse utilaje cu utilizare specială
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Textul licitației
eduktion der Strukturabweichung beim Ätzstopp auf Dielektrika, Endpunktdetektion, Software- und Anlagensteuerung, Verpackung / Transport / Abladen / Einbringen / Installation einschließlich Inbetriebnahme und Schulung Beschreibung der Beschaffung (Art und Umfang der Dienstleistung bzw. Angabe der Bedürfnisse und Anforderungen) Neue DRIE/ RIE-Anlage inkl. Zubehör für die Forschung an der WHZ mit folgenden Anforderungen: 01 1 RIE / DRIE-Anlage Plasmaätzanlage für plasmachemisches, reaktives Silizium-Tiefenätzen (?500µm) mittels des Bosch-Prozesses (gas chopping process) und RIE von dünnen Dielektrika- Schichten (?2µm). - Die Anlage muss die Verarbeitung von 100mm Wafern mit und ohne Primary-Flat, sowie mit und ohne Secondary-Flat erlauben. - Die Anlage muss die Verarbeitung von 150mm Wafern mit und ohne Primary-Flat, mit und ohne Secondary-Flat oder auch mit und ohne Notch erlau