Textul licitației

BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin. Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium o Option n°3 : La formation de maintenance premier niveau pour 4 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°4 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°5 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges o Option n°6 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°7 : La